Để tạo ra một môi trường sạch, phòng sạch cần có các thiết bị để tạo ra môi trường sạch. Theo thuật ngữ của ISO 14644-7, Phòng sạch và môi trường được kiểm soát liên kết - Phần 7, sử dụng thuật ngữ 'Thiết bị phòng sạch' để mô tả chung, thiết bị cách ly và module phòng sạch.
Các thiết bị này bao gồm luồng không khí tầng (thường được gọi là Thiết bị Luồng không khí một chiều (UDAF – Unidirectional Airflow) trong sản xuất dược phẩm không thể dễ dàng chứng minh được tính chất 'thực sự'), Tủ an toàn sinh học và Thiết bị cách ly. Các thiết bị như này thường hoạt động ở môi trường Grade A - EU GMP / ISO Class 5. Thuật ngữ 'tủ' được sử dụng rộng rãi hơn ở Châu Âu và thuật ngữ 'tủ hút' được sử dụng rộng rãi hơn ở Hoa Kỳ.
Trong khi hầu hết các phòng sạch hoạt động với luồng không khí đa hướng, các thiết bị phòng sạch được thiết kế để giúp giảm thiểu sự hỗn loạn không khí và chất bẩn bằng cách vận hành với luồng không khí thổi theo một hướng (đơn hướng)
Với các thiết bị UDAF, chúng được cấu tạo với dòng khí chảy ngang hoặc dòng khí chảy dọc. UDAF được thiết kế đặc biệt là tủ an toàn sinh học. Đây là những khay 'khép kín' để bảo vệ con người, môi trường và / hoặc các sản phẩm làm việc với các vi sinh vật nguy hiểm. An toàn sinh học bảo vệ bằng cách tạo ra một rào cản không khí tại nơi làm việc và bằng cách lọc không khí thải qua hộp lọc (HEPA). Tủ an toàn sinh học cấp I bảo vệ hoạt động hoặc sản phẩm khỏi sự xâm nhập của con người, trong khi tủ cấp an toàn sinh học II bảo vệ con người, môi trường và sản phẩm. Đối với một số thiết bị UDAF, găng tay được trang bị để ngăn tiếp xác trực tiếp với con người. Các thiết bị như vậy được gọi chung là Hệ thống rào cản truy cập hạn chế (RABS - Restrict Accecs barie systems).Những thiết bị này là một phần giữa UDAF thông thường và một bộ cách ly.
Một loại tủ đặc biệt khác là tủ đựng vật chất dồng bộ bột. Đây là những tủ chứa nhỏ gọn với luồng không khí vào bên trong và bộ lọc HEPA giúp bảo vệ người vận hành và môi trường khỏi các chất bột tạo ra từ các quá trình như hỗn hợp dược phẩm.
Một loại thiết bị phòng sạch khác là Isolator, hay còn gọi là Tủ cách ly. Tủ cách ly ưu việt hơn phòng sạch ở chỗ nó giảm nguy cơ ô nhiễm thông qua việc xây dựng hàng rào ngăn cách giữa khu vực quan trọng (đôi khi được gọi là và môi trường bên ngoài. Tủ cách ly được sử dụng để kiểm tra độ vô trùng, thi nghiệm vô trùng và các ứng dụng khác trong đó môi trường sạch là bắt buộc. Điều quan trọng là tránh mọi khả năng nhiễm bẩn để không xảy ra trường hợp 'dương tính giả'.
Một biến thể tự cách ly là hộp đựng găng tay. Hộp đựng găng tay là một hộp, được trang bị găng tay kín, cho phép các thao tác của con người từ bên ngoài trong môi trường được kiểm soát hoặc môi trường độc tố nguy hiểm.