Liên quan với phép đo lưu lượng khí là áp suất dương. Để duy trì chất lượng không khí trong phòng sạch, áp suất của phòng sạch đó nhất định phải lớn hơn so với môi trường xung quanh ở cấp thấp hơn. Điều này là để đảm bảo rằng không khí từ các phòng sạch cấp thấp hơn (hoặc không khí ở hành lang) đi vào phòng sạch cấp cao hơn (điều này cũng có thể được quan sát bằng các thí nghiệm về khói). Nhìn chung, mức chênh áp này vào khoảng 15-20 Pascal, mặc dù một số khu vực cùng cấp sẽ cũng có các yêu cầu chênh lệch áp suất do các hoạt động cụ thể khác nhau. Sự cố ô nhiễm thường do các hoạt động mở cửa, do đó chúng ta cần hạn chế vấn đề này.
