Bộ lọc HEPA (Bộ lọc hiệu suất cao) được sử dụng để cung cấp không khí sạch cho phòng sạch. Bộ lọc HEPA là bộ lọc, có thể thay thế, trong các khung cứng với hiệu quả thu gom hạt được thiết kế trước. Các bộ lọc được thiết kế để kiểm soát số lượng các hạt bụi đi vào một khu vực sạch bằng cách lọc giữ lại trên màng lọc. Trong khu vực Cấp A, bộ lọc HEPA cũng có chức năng “làm thẳng” luồng không khí như một phần của dòng khí một chiều (tạo ra dòng chảy tầng cho phòng sạch). Để đo lường hiệu
quả của các bộ lọc, kiểm tra tính toàn vẹn của màng lọc chúng được kiểm tra xem có rò rỉ hay không thông qua thí nghiệm
Bộ lọc HEPA hoạt động thông qua một tổ hợp ba bước quan trọng. Đầutiên, có một hoặc nhiều bộ lọc bên ngoài hoạt động giống như lưới lọc đểngăn chặn các phần lớn chất bẩn, bụi kích thước nhỏ. Bên trong các blọc đó, có một lớp đệm (concertina) - một tấm giấy lọc gồm các sợi rấtdày đặc – để ngăn các hạt hạt nhỏ hơn. Phần bên trong của bộ lọc HEPAsử dụng ba cơ chế khácnhau để ngăn các hạt khi chúng đi qua trongluồng không khí chuyển động. Ở tốc độ không khí cao, một số hạt dữ lạivà bị giữ lại khi chúng đập trực tiếp vào các sợi, trong khi những hạt khácbị các sợi ngăn lại khi không khí di chuyển qua. Ở tốc độ không khí thấp hơn, các hạt có xu hướng đi lang thang ngẫu nhiên hơn qua bộ lọc có thể dính vào các sợi ngăn trong máy lọc kết hợp lại ba cơ chế này cho phép bộ lọc
