Không khí đóng vai trò vừa là phương tiện để đảm bảo rằng các phòng sạch được sạch vừa có thể là nguồn gây ô nhiễm cho chính phòng sạch. Chúng ta không thể loại bỏ không khí vì nếu không có nó thì chúng ta không thể hô hấp được. Và phòng sạch cần có con người để điều khiển nó nên cần phải cung cấp không khí cho phòng sạch.
Để đảm bảo rằng phòng sạch đang hoạt động một cách chính xác, không khí được giám sát thông qua:
● Cấp độ của phòng sạch (theo định nghĩa độ sạch của không khí,
liên quan đến số lượng các hạt bụi trong không khí)
● Thông qua các phép đo vật lý của HVAC
● Thông qua việc giám sát các vi sinh vật, vi khuẩn
